Измерение шероховатости поверхности всегда было важной проблемой, но также очень сложной для решения, учитывая порядок величины микронеровностей. Еще 15-20 лет назад у средства для измерения шероховатости поверхностей строились по оптическому принципу. Таковы двойные микроскопы Линника или другие микроскопы этого типа, использующие принцип светового сечения, открытый Шмальцем.

Наиболее сложные проблемы были связаны с ограниченными возможностями измерения шероховатости, особенно в работе. До недавнего времени измерение шероховатости было исключительно лабораторной операцией. Это привело к тому, что обработанные детали были доставлены в лабораторию, где они были измерены путем отбора проб. Результат был лишь частичной постановкой общей задачи и часто сопровождался ошибками. Другой проблемой было измерение шероховатости внутренних поверхностей (отверстия малого диаметра), в которые нельзя было вставить микроскоп.

Единственным выходом в этом случае было отрезать некоторые части, считавшиеся образцами, фактически уничтожив часть частей, считавшихся репрезентативными. С развитием электронной промышленности, а также оптической и особенно лазерной промышленности на рынке метрологических приборов появляется новое поколение приборов для измерения шероховатости.

Эти устройства, основанные на ощупывании и регистрации профиля микронных неровностей поверхности с последующим расчетом требуемых параметров шероховатости, позволяют проводить наружные и внутренние измерения отверстий малого диаметра (до 2 мм) практически там, где возможно введение зонда. Если до создания этих приборов можно было измерять только один из параметров шероховатости (чаще всего Rz), то теперь современные приборы для измерения шероховатости могут отображать или печатать одновременно несколько параметров шероховатости.

В настоящее время приборы, предназначенные для измерения шероховатости поверхности, строятся в стационарном варианте (предназначены для лабораторий), а также в переносном (используются непосредственно на работе для оперативных измерений).